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发布时间:2022-08-14 23:13:00 作者:科宏净化
济南净化车间洁净室设备定制
净化室环境立即危害芯片制程加工工艺产品合格率。芯片的生产制造要使用数千流程,整个过程中环境温度、气体洁净度遭受十分严谨的操纵,在这类环境的洁净室,根据各种各样工业设备,将晶圆片持续的运转开展生产加工,通过严谨的制程和严格的无尘室环境下进行封装形式芯片。大家都知道,空气中本就充斥着尘埃,细微到人眼不由此可见,可是这种尘埃如落在生产制造芯片的环境中,针对每一个电子管的容积它便是非常大颗粒物了,在制程中尘埃或是污染物质落到晶圆上,会导致芯片的短路故障及烧蚀等别的欠佳。
因而确保芯片的高良率,就需要维护它的高生产制造环境和洁净度!
净化车间改造时需要注意的温湿度管理问题洁净室设备定制
洁净室设备定制温度问题
从舒适和工艺要求两方面考虑,必须有效地控制洁净室内的温度。在ISO 7级(10,000级)或ISO 6级(1,000级)实验室中,洁净室的温度保持在72°±2°F左右,工作人员穿着工作服的舒适度好。在要求更加严格的洁净室内的工作人员必须身穿全套的“兔子服”,这时,必须把洁净室的温度控制在66°±2°F是适宜。
设计用途不是作为洁净室使用的建筑物可能无法与周边环境完全隔离。这些建筑物大部分都有窗户,在一天里,总会有热量通过窗户传入或逸出洁净室,这会对洁净室里的实验操作产生不利影响。因此需要注意防止实验室受到外部热源温度变化的影响。
湿度
许多关于温度控制的问题也适用于湿度控制。确定值和误差都要符合应用的实际需要。如果温度保持在合适的水平,相对湿度(RH)在30-65%的范围会让人感到比较适宜。如要求达到更窄的湿度误差,一般只是工艺方面的要求。对于现有的建筑物而言,提高湿度控制意味着巨大的成本。在干燥区域,加湿的成本很高。而在潮湿区域,需要去湿。在大部分区域内,如果要求RH的误差达到±5%,就必须把加湿设备和去湿设备整合到机械系统中。
过滤器多久更换一次?洁净室设备定制
洁净室设备定制在制药行业,过滤器(HEPA)用于生产空间空气的处理和过滤的终端过滤器。无菌生产要求强制使用过滤器,而固体和半固体剂型的生产有时也会使用。H13至H14(DIN1822)是过滤器的两种,后者截留率为99.995%。但多久必须更换一次呢?
我们经常看到在公司内部文件中,要求每年更换过滤器,而不管检测结果如何。这是否合理?在相关的GMP指南中并没有过滤器可以使用期限的具体数值。根据GMP的要求,过滤器不得有泄漏,这需要通过确认和定期执行ISO14644-3中的泄漏测试,无菌车间来说这是必须的。根据附录1(PIC/S PI032-2)的技术诠释,A/B级每6个月进行泄漏测试,C/D级则为12个月。FDA无菌指南要求进行定期检查。附录1的要求在这里也适用。泄漏是可以修补的,但修补的面积不能超过单个过滤器面积的0.5%。
当然,过滤器(www.bacclean.com)并不只有完整性一件事情。过滤器(层)的负载以及上下游压差也很重要。如果过滤器上下游压差升高,则送排风系统的能量需求会增加,这样才能维持必须的换气次数。这样的过滤器上下游压差可能会增加通风系统的性能限制。为了保护过滤器,就要使用前端过滤器---通常是像F7和F9过滤器(EN779)这样的精细过滤器。这些过滤器必须定期更换以保护过滤器避免堵塞。
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